La COBRA DS 0600 E est une pompe à vide sèche de nouvelle génération, idéale pour les procédés exigeants. Avec son concept de vis perfectionné, elle offre d'excellentes qualités de fonctionnement. Elle est parfaitement adaptée pour le dépôt chimique en phase vapeur, le recuit thermique rapide et le dépôt de couche atomique. Elle est caractérisée par un faible coût de possession, une maintenance minimale, des intervalles de maintenance étendus, un temps de fonctionnement élevé, un refroidissement indirect à l'eau efficace et un débit d'hydrogène élevé. De plus, elle a une conception optimisée avec un moteur immergé et un accouplement direct.
